一般的なタイプのセンサー

抵抗膜方式
抵抗式センサは、変位、変形、力、加速度、湿度、温度などの測定物理量を抵抗値に変換するデバイスです。主に、抵抗ひずみセンサー、ピエゾ抵抗センサー、熱センサー、温度センサー、ガスセンサー、湿度センサー、およびその他の抵抗センサーコンポーネントがあります。
抵抗ひずみゲージ
センサ内の抵抗ひずみゲージには金属ひずみ効果、つまり外力が加わると機械的変形が生じ、それに応じて抵抗値が変化します。抵抗ひずみゲージには主に金属と半導体の 2 種類があります。金属ひずみゲージはワイヤータイプ、箔タイプ、フィルムタイプに分けられます。半導体ひずみゲージは感度が高く（通常ワイヤー式や箔式の数十倍）、横効果が小さいという利点があります。
ピエゾ抵抗型
ピエゾ抵抗センサーは、半導体材料のピエゾ抵抗効果により、半導体材料の基板上に抵抗を拡散させて作られたデバイスです。基板は測定検知素子として直接使用でき、拡散抵抗は電気ブリッジの形で基板に接続されています。外力により基板が変形すると抵抗値が変化し、ブリッジはそれに応じたアンバランス出力を発生します。
ピエゾ抵抗センサーに使用される基板 (または膜) 材料は、主にシリコン ウェーハとゲルマニウム ウェーハです。感応材料としてシリコン ウェーハで作られたシリコン ピエゾ抵抗センサー、特に圧力と速度を測定するソリッドステート ピエゾ抵抗センサーがますます注目を集めています。-
熱抵抗
熱抵抗温度測定は、温度測定の温度が上昇すると金属導体の抵抗値が増加する特性を利用しています。ほとんどの熱抵抗器は純金属材料で作られており、白金と銅が最も一般的に使用されています。さらに、ニッケル、マンガン、ロジウムなどの材料が熱抵抗器の製造に使用され始めています。